Aplicação de carboneto de silício no disco de moagem

Aplicação de Carboneto de Silício em Discos de
Moagem de Discos. Os discos de moagem são equipamentos de processo importantes para a produção de wafers de silício para VLSI na indústria de semicondutores. Os discos de retificação feitos de cerâmica de carboneto de silício podem ser retificados e polidos em alta velocidade devido à alta dureza dos discos de retificação e ao baixo desgaste e coeficiente de expansão térmica das pastilhas de silício. Especialmente nos últimos anos, o tamanho das pastilhas de silício tem se tornado cada vez maior, o que impõe requisitos mais elevados sobre a qualidade e a eficiência da moagem de pastilhas de silício. O uso de discos de retificação de cerâmica de carboneto de silício melhorará muito a qualidade e a eficiência da retificação de wafer de silício.